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它是一片透明的石英玻璃，其主要用途在於將積體電路之各種電路設計圖形轉化為晶圓製造廠大量生產所需的介面模具，並扮演著在電路設計被轉印到晶圓上之重要角色。

光罩上的圖案微縮後經由曝光後反印至晶圓上。

... 而光罩是通過蝕刻、光阻剝離、清洗、測量和檢驗製程。

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3-2 TFT製程簡介. 3-2-1 前言. 本公司將光罩製程稱為PEP( ...